CREAVAC-Creative
Vakuumbeschichtung GmbH
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Clustersysteme

Nicht jedes Schichtsystem lässt sich in einer Vakuumkammer realisieren. Zur Durchführung von komplexen Beschichtungsaufgaben mittels PVD- und CVD-Prozessen haben wir ein Mehrkammer-Anlagensystem entwickelt. In den einzelnen Vakuumkammern kann eine Vielzahl von Beschichtungsprozessen wie z.B. Sputtern, Elektronenstrahl-Verdampfen, thermischen Verdampfer, Plasma-CVD Verfahren integriert werden. Eine spezielle röntgensichere Kammerkonstruktion erlaubt auch den Einsatz von Elektronenstrahl-Verdampfern mit hohen Beschleunigungsspannungen.

Unser Clustersystem CREAMET® 350 Cl6 verfügt über bis zu sechs Prozesskammern und eine zentrale Handlingskammer mit zusätzlich integrierten Ablage- und Messstationen.

Herr Dr. Steffen Heicke steht Ihnen unter heicke@creavac.de gern zu einer Beratung zur Verfügung.