CREAVAC-Creative
Vakuumbeschichtung GmbH
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Elektronenstrahl-Verdampfen

Unsere CREAMET® 400 e-beam ist eine kompakt aufgebaute Laboranlage mit einem hochleistungsfähigen trockenem Pumpsystem. Diese Anlage verfügt neben einer Strahlungsheizung und einer Plasmavorbehandlung über einen Mehrtiegel–Elektronenstrahlverdampfer. Durch Verwendung von Korrekturblenden sind Schichtdickenhomogenitäten unter 1 % realisierbar. Eine Kombination mit anderen PVD-Prozessen (z.B. Sputtern) ist möglich. Unsere CREAMET® 400 e-beam eignet sich besonders zur Waferbehandlung, zur EMV-Beschichtung, und zur Herstellung von optischen Schichten.