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Vakuumbeschichtung GmbH
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Reinraumapplikationen

Unsere Beschichtungsanlagen können auch reinraumtauglich ausgeführt werden. Die CREAMET® 500 BC 12 ist eine Hochvakuumanlage mit integrierter Glovebox. Sie verfügt über ein Zwei-Kammersystem mit einer Plasmaaktivierungs- und einer Beschichtungskammer mit automatischem Substrattransport.  Zwölf einzelne thermische Verdampfer lassen sich separat regeln.

Das Maskensystem ist mit Wechselstationen im Vakuum ausgestattet.