CREAVAC-Creative
Vakuumbeschichtung GmbH
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Sputtern

Die Beschichtung von Werkstoffen durch einen Sputterverfahren auch in Kombination mit anderen PVD-Prozessen (z.B. thermisches Beschichten) ist eine der flexibelsten Methoden und bietet Ihnen nahezu unbegrenzte Möglichkeiten zur Beschichtung.

Unsere CREAMET® 400 S3 ist eine kompakt aufgebaute Laboranlage mit einem hochleistungsfähigen trockenem Pumpsystem. Diese Anlage besitzt neben einer Stahlungsheizung und einer Plasmavorbehandlung drei Sputterquellen. Über die DC- und RF- Generatoren lassen sich auch Multi- und Gradientenschichten auf einer Vielzahl von Substraten herstellen.

Bei unserer CREAMET® 500 S3 handelt es sich um eine Beschichtungsanlage inklusive Loadlock mit höchsten Anforderungen an die Sputtertechnologie und Substratbehandlung. Mit einer HF-BIAS fähigen Substrathalterung für Temperaturen bis zu 900 °C und mit DC, RF und pulsed DC betriebene Sputterquellen können Sie eine Vielzahl von Beschichtungen realisieren.

Unsere CREAMET® 750 Cl2 ist eine Mehrkammeranlage mit einer Kombination von thermischen Verdampfern und Sputterquellen. Durch die strukturierte Steuerung lassen sich eine Vielzahl von komplexen Beschichtungsaufgaben realisieren. Eine Loadlock mit mehreren Substratebenen und automatischen Transport rundet unsere Anlage ab.