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Anlagenbau > Forschungs- und Laboranlagen > Thermisches Bedampfen

Thermisches Bedampfen

Zu unseren Anlagensystemen mit thermischen Verdampfern gehören die folgenden Beispiele.  Die Anlagen besitzen immer ein Hochvakuum-Pumpstand auf Basis trockener oder ölgedichteter Vakuumpumpen.

Unsere CREAMET® 400 HAu ist ein Tischgerät mit Arbeitsfläche zur thermischen Bedampfung mit in-situ Schichtkontrolle. Die Vakuumkammer verfügt über eine Glasabdeckung und eine Substratkühlung. Die CREAMET® 400 HAu arbeitet mit einem Beschichtungssystem mit einer x-y-Positionierung. Die Genauigkeit beträgt <0,1mm.

Unsere CREAMET® BC 12 OLED ist eine Hochvakuums-Beschichtungsanlage mit integrierter Glovebox. Das Zweikammersystem verfügt über eine Plasmaaktivierungs- und Beschichtunskammer. Der Substrattransport erfolgt automatisch, die 12 thermischen Verdampfer sind individuell regelbar. Zur optimalen Substratmaskierung ist die CREAMET® BC 12 OLED mit einem Maskenwechselsystem im Vakuum ausgestattet.

Eine unserer weiteren Demonstrations- und Laboranlagen ist unsere CREAMET® 250 EMV. Mit ihr können verschiedenste Substrate bis zu einer Schichtdicke von 2µm thermisch ein- oder allseitig beschichtet werden. Der Kammeraufbau ist vertikal mit implosionssichere Glasglocke. Unsere CREAMET® 250 EMV ist ein transportables Tischgerät mit kompakter Bauweise.

Unsere CREAMET® 100 deko ist unsere kleinste Hochvakuum-Beschichtungsanlage. Mit einem Kammerdurchmesser von 100 mm besitzt sie bis zu zwei thermische Verdampfer und kann für Demonstrations- und Laborversuche eingesetzt werden.

Zur Feinstbedampfung von Schwingquarzen mit Silber oder Gold haben wir die CREAMET® 350/450 BC E entwickelt. Die Schichtendickenkontrolle erfolgt über einen in-situ-Frequenzabgleich. Unsere CREAMET® 350/450 BC E verfügt über 2 wassergekühlte thermischen Einzelverdampfer und ein 4-fach Blendensystem, welches separat steuerbar ist.