Creacontrol

Steuerung von Vakuumanlagen

Die Bedienung der Anlagen erfolgt im einfachsten Fall über eine diskrete Steuerung, kann aber auch SPS- und PC-basierend ausgeführt werden. Besondere Bedeutung hat dabei in den letzten Jahren unser eigenes Steuerungsmodul CREACONTROL® erlangt. Die auf Basis von LabVIEW® entwickelte Software ermöglicht unseren Kunden aus dem F&E Bereich eigene Programmentwicklungen zu implementieren. Die einfache Integration von Standardbaugruppen ist über eine Plug-and-Play Lösung realisiert.

 

Zu diesen Baugruppen gehören:

  • Drehschieber-, Scroll-, Turbomolekularpumpen
  • Vakuummesstechnik, MFC, Ventile
  • Verdampfer, Elektronenstrahl- und Sputterquellen
  • Quarz Schichtdicken-Controller