Beim thermischen Bedampfen verdampfen wir im Vakuum verschiedene Materialien, die später als Schicht auf das entsprechende Substrat kondensieren. Die Anlagen besitzen immer ein Hochvakuum-Pumpstand auf Basis trockener oder ölgedichteter Vakuumpumpen. Durch eine in-situ Schichtdicken Messung lassen sich reproduzierbare genaue Schichtsysteme abscheiden.
Unsere CREAMET® Laboranlagen sind kompakte Beschichtungsanlagen, die in einem 19 Zoll Elektronikschrank aufgebaut sind. Ideal lässt sich diese Beschichtungsanlage mit unserer CREACONTROL® ansteuern.
Für die Verwendung von reaktiven Materialien werden unsere Hochvakuum-Beschichtungsanlagen in eine Glovebox integriert. Die Ausführung der Vakuumkammer kann dabei als implosionsgeschützten Glasglocke oder als Edelstahl-Kammer erfolgen.